PI desarrolla etapa lineal de levitación magnética con control 6DOF
PI, fabricante de equipos de nanoposicionamiento y etapas con cojinetes de aire, ha desarrollado un demostrador de tecnología de alta precisión basado en maglev. La levitación magnética es una tecnología de movimiento sin fricción que emplea campos magnéticos para levitar y propulsar objetos. La tecnología MagLev se utiliza en varias aplicaciones, más conocidas por los trenes de alta velocidad y los cojinetes magnéticos, y tiene grandes beneficios en aplicaciones de nanoposicionamiento y control de movimiento de precisión.
El principio básico de la levitación magnética es que los polos magnéticos iguales se repelen entre sí. Para lograr la levitación magnética en su forma más simple, se utilizan dos imanes; un imán se coloca en el objeto que necesita ser levitado y el otro imán se coloca debajo de él.
Para que este principio sea útil para el nanoposicionamiento y el control de movimiento de precisión, por ejemplo, en etapas de traslación lineal, los imanes en la base deben ser bobinas controlables eléctricamente y se necesita más que un par para controlar también el movimiento lateral, el movimiento vertical y el cabeceo, guiñada, y rodar. También se requiere un sistema de detección de posición de alta resolución para la retroalimentación al controlador de movimiento. Dado que ningún rodamiento mecánico restringe el movimiento de la plataforma de escenario lineal, los seis grados de libertad están disponibles para corregir cualquier insuficiencia de rodamiento, con un potente controlador multieje.
Las aplicaciones potenciales de los sistemas de nanoposicionamiento de levitación magnética se pueden encontrar en pruebas de semiconductores y metrología, fotónica, óptica y microscopía de alta resolución. Las ventajas son la ausencia de generación de partículas (compatible con salas limpias), cero desgaste y cero mantenimiento, movimiento controlable multidimensional en un paquete compacto y una vida útil prácticamente ilimitada. A diferencia de las etapas que contienen aire, no se requiere suministro de aire comprimido.
PI ha estado invirtiendo en investigación sobre levitación magnética para aplicaciones de nanoposicionamiento y trabajará con los clientes para hacer avanzar la tecnología juntos.
Para más información: www.pi-usa.us
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