Superar los desafíos del control de movimiento en aplicaciones de nanometrología

La demanda de etapas con capacidad nanométrica está aumentando exponencialmente a medida que continúa la tendencia a lograr una mayor precisión y control en las aplicaciones de metrología y nanometrología.

Con el advenimiento de las tecnologías de sensores de vanguardia, las capacidades de medición se han vuelto cada vez más sensibles, lo que permite la detección y caracterización de características diminutas y desviaciones en las muestras. Para aprovechar todo el potencial de estos sensores avanzados, es esencial contar con etapas de control de movimiento que puedan mover las muestras o sensores con extrema precisión y estabilidad.

La capacidad de atravesar varios cientos de milímetros manteniendo una precisión de nivel nanométrico abre nuevas posibilidades para la investigación, el control de calidad y los procesos de fabricación que requieren mediciones complejas y ajustes finos. Como resultado, el desarrollo de etapas con capacidad nanométrica se ha vuelto crucial para satisfacer las demandas de la metrología moderna y desbloquear nuevos avances en varias industrias.

Cualquier imprecisión o error en el movimiento puede afectar significativamente los resultados de la medición. Incluso las desviaciones o vibraciones menores durante el movimiento de los sensores pueden introducir ruidos y artefactos no deseados, lo que compromete la precisión general de las mediciones.

"Para superar este desafío, los sistemas de movimiento deben diseñarse con una precisión y estabilidad excepcionales. Deben ser capaces de lograr una resolución subnanométrica y mantener tolerancias estrictas en todo el rango de movimiento. Al superar la precisión de los sensores, estos sensores de alta Los sistemas de movimiento de precisión garantizan que las mediciones obtenidas no se vean limitadas ni comprometidas por el movimiento en sí, lo que permite a los investigadores y las industrias lograr el mayor nivel de precisión de medición posible", explica el presidente de ALIO Industries, Bill Hennessey.

Para tales aplicaciones, ALIO proporciona sus etapas Z verticales y bases XY monolíticas. Las etapas Z de ALIO se destacan por su diseño innovador, que ofrece una solución vertical completamente lineal y ofrece un rendimiento comparable al de los sistemas de cojinetes de aire.

Hennessey continúa: "Lo que distingue a la platina Z de ALIO es su precisión excepcional, que supera las soluciones tradicionales de cuña Z en un orden de magnitud. Esto significa que nuestra platina Z puede alcanzar niveles de precisión y estabilidad sin precedentes en aplicaciones de posicionamiento vertical".

Al eliminar los inconvenientes asociados con los mecanismos tradicionales de cuña en Z, como la no linealidad y la histéresis mecánica, el diseño único de ALIO garantiza un movimiento vertical constante y confiable con resolución subnanométrica, lo que abre nuevas posibilidades para aplicaciones de nanometroloy y nanotecnología, fabricación de semiconductores. y fabricación de óptica, lo que permite a los fabricantes de equipos originales alcanzar niveles de rendimiento que antes eran inalcanzables con las soluciones convencionales.

El uso de un escenario Z vertical en una base XY monolítica permite que la carga útil del cliente se monte directamente en la parte superior del escenario en línea con el motor, el codificador, los rodamientos y el contrapeso, minimizando así los soportes que sobresalen y reduciendo en gran medida los posibles errores de Abbé ( distorsiones ópticas que ocurren debido a la variación en las distancias focales para diferentes longitudes de onda de luz, lo que resulta en franjas de color y menor nitidez de la imagen).

Las etapas monolíticas XY de ALIO introducen una rectitud y planitud de recorrido nunca antes vistas con precisión nanométrica para reducir la incertidumbre de medición para los OEM de metrología, lo que garantiza datos de medición más precisos y confiables, lo cual es crucial para el control de calidad, la investigación y los procesos de fabricación de próxima generación.

Para más información: www.alioindustries.com

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